파형의 형태와 전압레벨에 따라 6가지로 분류되며, 32bit 고속 디지털
프로세서(DSP)로 제어되는 고기능 power supply로서 Bias, Magnetron, Dual Magnetron, High Power Pulsed Magnetron
Sputtering 시스템 등에 적용이 가능합니다. 또한 뛰어난 Arc제어 알고리즘의 구현으로 신속한 Arc 감지 및 제어가 가능합니다.
▶Magnetron sputter : ipos-UN Series, ipos-BS/BA Series
▶Bias : ipos-DB Series
▶High power pulsed magnetron sputtering : ipos-HP |